Optical microlithography XIII - 1-3 March 2000, Santa Clara, USA
- Författare
- (Christopher J. Progler, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2000 | USA | 2 vol. | 0-8194-3618-6 | |